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探針臺分析 | 拒絕“盲目探測”
2024-06-21 11:03
隨著科技的發展，探針臺國產化有了很大的突破。探針臺是在半導體行業中進行晶圓測試時不可或缺的設備。
探針臺主要為半導體芯片的電參數測試提供一個測試平臺。探針臺可以吸附多種規格的芯片，并提供多種可調測試針和探針座。集成電路的電壓、電流、電阻和電容電壓特性曲線可以通過測量儀器完成。主要應用于晶圓和晶粒的測試，在尚未封裝的晶圓階段對其進行篩選，剔除次品，降低后端封裝的成本。
探針臺調試時用到的晶圓主要有3種：Dummy wafer，Calibration wafer，Correction wafer
Dummy wafer用于調試驗證探針臺的取放動作，傳送動作是否正確。單步的動作確認完之后，再利用很多片Dummy wafer放置于Cassette中進行模擬運行，驗證長時間的取放、傳送動作是否正常。經過Dummy wafer的長時間驗證運行，沒有異常情況之后。廠家的設備工程師使用Calibration wafer進行最終的精度調整和驗證，確保精度達到規格需求。在前2步調試和精度確認完成之后，就可以交給客戶進行正式生產前的整個測試系統的確認?？蛻艄こ處熓褂肅orrection wafer，執行和正常生產時同樣的生產動作，得到測試結果。如果符合預期要求，機臺就可以交付給生產部門。
對于探針臺的選擇，首先要明確自己的應用需求。不同的研究領域和應用場景可能需要不同類型的探針臺。其次，要考慮實驗室條件，實驗室的空間大小、電源要求、接口需求等都會對探針臺的選擇產生影響。接著，在選擇的時候，要比較不同型號的技術參數，包括樣品臺尺寸、移動行程、移動精度、顯微鏡配置、溫控系統、光學系統等。最后，要考慮價格，是否性價比。
深科達智能裝備股份有限公司，一家半導體封測更具價值的企業。在探針臺領域，深科達在研發過程中，突破研發難題，成功研發出符合市場、性價比更高的探針臺。
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